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詳細介紹
壓電·大范圍掃描運動 Carrier.OB100HL.C
? 針對顯微物鏡的大負載、高動態、緊湊型解決方案，用于顯微成像、自動對焦等應用
• Z 方向運動范圍 100 um；
• 最快穩定時間(90%位置穩定)10 ms以內；
• 閉環定位精度優于 1 nm；
• 最大負載 2 kg；
• 控制器兼容多場科技MC-Archimedes Series；
• ?持無磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)選件升級；
壓電掃描臺，物鏡型高負載，兼容無磁高真空——詳細參數：
壓電掃描臺，物鏡型高負載，兼容無磁高真空——尺寸圖：
多場科技“壓電掃描臺·物鏡型”解決方案Carrier.OB.系列主要針對精密光學，半導體表征等應用場景，核心特點包括：
• Z方向單一運動方向，行程覆蓋50, 100 & 400 um
• 快速運動穩定，10 ms內完成
• 支持高負載物鏡選項；提供多種物鏡轉接接口
• 支持第三方軟、硬件控制，實現自動對焦
• 支持電容(.C) 位置傳感
• 最高分辨率達到0.2 nm
• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級
• 控制器兼容多場科技 Motion Controller - Archimedes Series
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